加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断平均电流值是否在容差范围内，若是，则返回步骤S1；若否，则进行电流异常报警。这与现有技术中判断当前输出电流值是否超出容差范围相比，可以忽略正常的偶发冲击电流，从而可以避免对偶发的冲击电流产生误报警，进而可以提高电流监测的可靠性。

Current monitoring method, device and reaction chamber of heating lamp

【技术实现步骤摘要】
加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室
本专利技术属于微电子加工
，具体地，涉及一种加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室。
技术介绍
采用物理气相沉积(PVD，PhysicalVaporDeposition)方法制备薄膜的工艺通常包括以下几步工艺流程：去气(Degas)、预清洗(Preclean)、薄膜沉积(Sputtering)。去气工艺的主要作用是：在进行沉积工艺之前，对工件进行加热，以达到去除工件表面的水和有机物的目的。目前去气腔室主要有灯管加热、灯泡加热和基座加热三种加热方式。就灯泡加热的方式而言，灯泡的加热能力会随其使用时间的增长而降低，因此，需要经常检测灯泡的加热能力。现有技术中，检测加热灯的能力的方案如下：在去气工艺开始前，依次采集每个输出功率下加热灯的电流的大小，生成对应功率下的电流标准值，并设定电流容差；在去气工艺中，对加热灯的电流进行实时采集，将实时采集到的电流与其对应功率下的电流标准值进行比较，若超出电流容差，则认定电流异常，抛出电流异常报警。上述检测加热灯的能力的方案至少存在如下问题：在每次向灯泡加载功率时，会出现较大的冲击电流，而电流在经过一段时间之后会进入稳定状态，在该稳定状态期间，由于灯泡本身的电器特性，仍然会偶发产生冲击电流，这种偶发的冲击电流不应视为异常，但是，上述检测加热灯的加热能力的方案会对这一偶发的冲击电流进行采集并将该冲击电流和与之输出功率相对应的电流标准值进行比较，以至于将这种偶发的冲击电流判断为电流异常，从而形成频率较高的误报警。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室，其可以避免对偶发的冲击电流造成误判，提高电流异常报警的准确性。作为本专利技术的一个技术方案，本专利技术提供了一种加热灯的电流监测方法，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断平均电流值是否在容差范围内，若是，则返回步骤S1；若否，则进行电流异常报警。其中，步骤S2进一步包括：S21，判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则进行步骤S22；S22，存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间；S23，根据在预设时间段内存储的所有的输出电流值以及每一输出电流值对应的持续时间，计算该预设时间段内的平均电流值。其中，预设时间段包括预设的当前输出电流值的变化次数所对应的持续时间总和；平均电流值的计算公式为：其中，在预设变化次数对应的时间内存储的每一输出电流值为Ii，输出电流值所对应的持续时间为Ti，平均电流值为I，N为预设变化次数，i＝0,1,2...,N-1。其中，在步骤S1之前，还包括：在工艺开始之前，进行一次预检测，包括：设定多个输出功率百分比；存储预检测过程中每个输出功率百分比对应的电流标准值；在步骤S3中，将相同的输出功率百分比所对应的平均电流值和电流标准值进行比较。其中，步骤S22进一步包括：S221，判断当前输出功率百分比对应的输出电流值发生变化的次数是否超过预设次数，若是，则进行步骤S222，若否，则返回步骤S1；S222，存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间。其中，步骤S222进一步还包括：判断已存储的输出电流值的数量是否等于存储容量，若是，则移除最先存储的输出电流值以及该输出电流值的持续时间，并且，存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间；若否，则存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间。作为本专利技术的另一方面，本专利技术还提供了一种加热灯的电流监测装置，包括：采集模块，用于实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；第一判断模块，用于判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则向采集模块发送信号，若是，则向计算模块发送信号；计算模块，用于在接收到第一判断模块发送的信号时，计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；第二判断模块，用于判断平均电流值是否在容差范围内，若是，则向采集模块发送信号，若否，则进行电流异常报警。其中，还包括：存储模块，第一判断模块判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则向采集模块发送信号，若是，则向所述存储模块和所述计算模块发送信号；存储模块，用于在接收到第一判断模块发送的信号时存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间；计算模块根据在预设变化次数内存储的所有的输出电流值以及每一输出电流值对应的持续时间，计算该预设变化次数内的平均电流值。其中，采集模块在工艺开始之前，根据设定的多个输出功率百分比，预检测每个输出功率百分比对应的电流标准值；存储模块还用于存储预检测过程中每个输出功率百分比对应的电流标准值；第二判断模块用于将相同的输出功率百分比所对应的平均电流值和电流标准值进行比较。其中，第一判断模块判断在当前输出功率百分比内的输出电流值发生变化的次数是否超过预设次数，若是，则向存储模块发送信号；若否，则向存储模块和计算模块发送信号。其中，存储模块在接收到第一判断模块发送的信号时，还用于：判断已存储的输出电流值的数量是否等于存储容量，若是，则移除最先存储的输出电流值以及该输出电流值的持续时间，并且，存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间；若否，则存储当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间。本专利技术还提供了一种反应腔室，包括加热灯和用于监控加热灯的电流监测装置，其中，加热灯的电流监测装置本专利技术提供的任意一种加热灯的电流监测装置。本专利技术具有下述有益效果：本专利技术提供的加热灯的电流监测方法及装置的技术方案中，在判断出当前输出电流值发生变化时，计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值，并在该平均电流值超出容差范围时进行报警，这与现有技术中判断当前输出电流值是否超出容差范围相比，可以忽略正常的偶发冲击电流，从而可以避免对偶发的冲击电流产生误报警，进而可以提高电流监测的可靠性。本专利技术提供的反应腔室，其通过采用本专利技术提供的上述加热灯的电流监测装置，可以避免对偶发的冲击电流产生误报警，从而可以提高电流监测的可靠性。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种加热灯的电流监测方法的流程图；图2本专利技术实施例提供的另一加热灯的电流监测方法的流程图；以及图3为本专利技术实施例提供的一种加热灯的电流监测装置的示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室进行详细描述。图1为本专利技术实施例提供一种加热灯的电流监测方法的流程图。请参照图1，本专利技术实施例提供的加热灯的电流监测方法，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断平均电流值是否在容差范围内，若是，则返回步骤S1；若否，则进行电流异常报警。上述预设时间段可以是预设的当前输出电流值的变化次数所对应的持续时间总和，此时，预设时间段的时长会根据当前电流值变化频率的不同而不同；上述预设时间段也可以是，自当前输出电流值之前的一段的固定预设时间，此时，预设时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热灯的电流监测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断所述当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自所述当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断所述平均电流值是否在容差范围内，若是，则返回步骤S1；若否，则进行电流异常报警。

【技术特征摘要】
1.一种加热灯的电流监测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断所述当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自所述当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断所述平均电流值是否在容差范围内，若是，则返回步骤S1；若否，则进行电流异常报警。2.根据权利要求1所述的加热灯的电流监测方法，其特征在于，所述步骤S2进一步包括：S21，判断所述当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则进行步骤S22；S22，存储所述当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间；S23，根据在所述预设时间段内存储的所有的所述输出电流值以及每一所述输出电流值对应的持续时间，计算该预设时间段内的平均电流值。3.根据权利要求2所述的加热灯的电流监测方法，其特征在于，所述预设时间段包括预设的所述当前输出电流值的变化次数所对应的持续时间总和；所述平均电流值的计算公式为：其中，在预设变化次数对应的时间内存储的每一输出电流值为Ii，所述输出电流值所对应的持续时间为Ti，所述平均电流值为I，N为预设变化次数，i＝0,1,2...,N-1。4.根据权利要求1所述的加热灯的电流监测方法，其特征在于，在所述步骤S1之前，还包括：在工艺开始之前，进行一次预检测，包括：设定多个输出功率百分比；存储所述预检测过程中每个所述输出功率百分比对应的电流标准值；在所述步骤S3中，将相同的所述输出功率百分比所对应的所述平均电流值和电流标准值进行比较。5.根据权利要求3所述的加热灯的电流监测方法，其特征在于，所述步骤S22进一步包括：S221，判断当前输出功率百分比对应的输出电流值发生变化的次数是否超过预设次数，若是，则进行步骤S222，若否，则返回步骤S1；S222，存储所述当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间。6.根据权利要求5所述的加热灯的电流监测方法，所述步骤S222进一步还包括：判断已存储的输出电流值的数量是否等于存储容量，若是，则移除最先存储的输出电流值以及该输出电流值的持续时间，并且，存储所述当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间；若否，则存储所述当前输出电流值以及前一输出电流值的持续时间。7.一种加热灯的电流监测装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏运坤，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11