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光检测装置制造方法及图纸
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文档序号:22367612
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光检测装置具备:封装体,其设置有窗部;法布里‑珀罗干涉滤波器,其在封装体内,使自窗部入射的光透过;及光检测器,其在封装体内,检测透过了法布里‑珀罗干涉滤波器的光。法布里‑珀罗干涉滤波器具有:基板,其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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