【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光检测装置
本专利技术涉及一种具备法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。
技术介绍
已知有具备以下构件的光检测装置：封装体，其设置有窗部；法布里-珀罗干涉滤波器，其在封装体内，使自窗部入射的光透过；光检测器，其在封装体内，检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-211860号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述那样的光检测装置中，期望利用光检测器效率良好地检测透过法布里-珀罗干涉滤波器的光。特别是在使用泛用的光源并分析来自被测定物的反射光的情况下，由于反射光的光量容易变小，因而效率良好地检测光是重要的。为了效率良好地检测光，考虑使用受光区域大的光电二极管等的光检测器。然而，若使用受光区域大的光检测器，则有在自光检测器输出的信号中噪声成分变大的担忧。本专利技术的目的在于提供一种可实现高灵敏度且高精度的检测的光检测装置。解决问题的技术手段一个方面的光检测装置，具备：封装体，其设置有使光入射的窗部；法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，且使自窗部入射的光透过；及光检测器，其以与法布里-珀罗干...
【技术保护点】
1.一种光检测装置，其特征在于，具备：封装体，其设置有使光入射的窗部；法布里‑珀罗干涉滤波器，其配置于所述封装体内，且使自所述窗部入射的所述光透过；及光检测器，其以与所述法布里‑珀罗干涉滤波器分离的状态配置于所述封装体内，且检测透过了所述法布里‑珀罗干涉滤波器的所述光，所述法布里‑珀罗干涉滤波器具有：基板，其具有所述窗部侧的第1表面及所述光检测器侧的第2表面；第1层构造体，其配置于所述第1表面，设置有隔着空隙而彼此相对且彼此的距离设为可变的第1镜部及第2镜部；及透镜部，其一体地设置于所述第2表面侧，且将透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光聚光于所述光检测器。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.28 JP 2017-0364491.一种光检测装置，其特征在于，具备：封装体，其设置有使光入射的窗部；法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于所述封装体内，且使自所述窗部入射的所述光透过；及光检测器，其以与所述法布里-珀罗干涉滤波器分离的状态配置于所述封装体内，且检测透过了所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述光，所述法布里-珀罗干涉滤波器具有：基板，其具有所述窗部侧的第1表面及所述光检测器侧的第2表面；第1层构造体，其配置于所述第1表面，设置有隔着空隙而彼此相对且彼此的距离设为可变的第1镜部及第2镜部；及透镜部，其一体地设置于所述第2表面侧，且将透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光聚光于所述光检测器。2.如权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，所述透镜部形成于所述基板中的所述第2表面侧的部分。3.如权利要求1所述的光检测装...
【专利技术属性】
技术研发人员：笠原隆，柴山胜己，广瀬真树，川合敏光，大山泰生，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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