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本发明提供了一种快速冷却系统，包括：处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置。通过本发明的快速冷却系统，在处理设备发生故障停机时，使用非活性的冷却气体直接对高温区内的制品进行快速冷却，从而避免了制品在高温区停留过长时间导致的制品报废，提高了制...
该专利属于中芯长电半导体（江阴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯长电半导体（江阴）有限公司授权不得商用。

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