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本公开内容提供一种用于清洁材料沉积源(400)的部件(20)的方法(100)。所述方法(100)包括：将所述部件(20)插入(110)清洁液(201)中；将超声源(220)插入(120)所述部件(20)的内部中；和操作(130)所述超声源(...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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