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晶片的生成方法技术
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文档序号:22332025
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提供晶片的生成方法,将所生成的晶片的履历与六方晶单晶锭关联而可靠地残留在晶片上。晶片的生成方法包含如下工序:平坦化工序,对六方晶单晶锭(2)的端面进行平坦化;剥离层形成工序,从已平坦化的端面将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光光线(LB...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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