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本实用新型提供一种用于清除半导体设备废气的接头装置，包括接头本体和排气管，接头本体的一侧设置为弧面，弧面设置有多个吸气孔，且多个吸气孔位于接头本体的内部相互导通设置，排气管设置在接头本体的另一侧面上，且排气管贯穿接头本体的侧面与吸气孔相导通...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

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