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馈通设备和信号导体路径装置制造方法及图纸
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下载馈通设备和信号导体路径装置的技术资料
文档序号:22300247
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一种馈通设备(50;150),用于在具有组宽度的信号导体组(60;160)中的信号导体周围形成气密密封。该设备包括开槽构件(52;152)和基部(62;162)。基部限定通孔(65),该通孔(65)沿着馈通方向(X)完全延伸穿过基部,并且被...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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