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提供一种能够确认在用于收纳基板的盒中是否恰当地装设有盖的基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质。基板收纳处理装置具备：载置部，其用于配置盒，所述盒具有以相对于开口部可装卸的方式装设于开口部的盖；盖装卸机构，其进行盖相对于被配置在载置...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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