基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质制造方法及图纸

提供一种能够确认在用于收纳基板的盒中是否恰当地装设有盖的基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质。基板收纳处理装置具备：载置部，其用于配置盒，所述盒具有以相对于开口部可装卸的方式装设于开口部的盖；盖装卸机构，其进行盖相对于被配置在载置部的盒的开口部的装卸，所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在开口部的位置的盖接触的装设位置和不与被配置在开口部的位置的盖接触的退避位置之间移动；盖保持传感器部，其用于探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及控制部，其基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。

Substrate Receiving Processing Unit, Substrate Receiving Processing Method and Recording Media

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质
本专利技术涉及一种用于恰当地搬送收纳基板的盒的基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质。
技术介绍
在进行半导体晶圆等基板的处理的处理系统中，通过使用被称作前开式晶圆传送盒(FOUP：FrontOpeningPod)的高机密性的盒，能够使基板搬送时的机密保持性和安全性提高。在该前开式晶圆传送盒的盒主体设置有用于使基板出入的开口部，在该开口部可装卸地装设能够利用闩锁机构上锁的盖(例如参照专利文献1)。在上述处理系统中，开口部被盖封闭的状态的盒被载置于载置台，利用具有钥匙的盖装卸机构来将盒的盖解锁以开放开口部。然后，在开口部开放的状态下，从盒内取出基板，进行基板的处理。将处理后的基板再次收纳于盒内，之后，通过盖装卸机构来利用盖再次封闭盒的开口部并上锁。经过这一系列的处理而密闭的盒在收纳有处理后的基板的状态下被从载置台搬出。在上述的处理系统中，在盖相对于收纳基板的盒主体没有恰当地装设以及上锁的情况下，存在在之后搬送盒时基板飞出至盒外而落下的担忧。由于各种原因导致盖相对于盒主体没有恰当地装设和上锁。例如，有时应该在封闭盒主体的开口部的位置上锁并与盖装卸机构分离的盖由于设置于盒的上锁机构等的故障而不与盖装卸机构分离，而是与盖装卸机构一同移动至退避位置。在该情况下，本来应该由盖封闭的盒主体的开口部成为开放的状态，因此有可能导致在之后搬送盒时基板飞出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001-358197号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是鉴于上述的情况而完成的，其目的在于提供一种能够确认在用于收纳基板的盒中是否恰当地装设有盖的基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质。用于解决问题的方案本专利技术的一个方式涉及一种基板收纳处理装置，其具备：载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；盖装卸机构，其进行盖相对于被配置在载置部的盒的开口部的装卸，所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在开口部的位置的盖接触的装设位置和不与被配置在开口部的位置的盖接触的退避位置之间移动；盖保持传感器部，其用于探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及控制部，其基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。本专利技术的其它方式涉及一种基板收纳处理方法，在基板收纳处理装置中判定有无与盖的装卸有关的异常，所述基板收纳处理装置具备：载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；以及盖装卸机构，其进行盖相对于被配置在载置部的盒的开口部的装卸，所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在开口部的位置的盖接触的装设位置和不与被配置在开口部的位置的盖接触的退避位置之间移动，所述基板收纳处理方法包括以下的工序：利用盖保持传感器部探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。本专利技术的其它方式涉及一种计算机可读取的记录介质，所述记录介质记录有用于执行上述的基板收纳处理方法的程序，所述程序用于使计算机执行以下的过程：利用盖保持传感器部探测是否由盖装卸机构保持着盖；以及基于盖保持传感器部的探测结果来判定有无与盖的装卸有关的异常。专利技术的效果根据本专利技术，能够确认在用于收纳基板的盒中是否恰当地装设有盖。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式所涉及的处理系统的一例的概要俯视图。图2是表示图1的处理系统所具备的基板收纳处理装置的主要部分的概要结构图。图3是表示盒的开口部没有被盖关闭的状态的截面图。图4是表示盒的开口部被盖关闭的状态的截面图。图5是盒的概要立体图。图6是盖装卸机构的概要立体图。图7A是简略地表示盖装卸异常判定中的正常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。图7B是简略地表示盖装卸异常判定中的正常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。图8A是简略地表示盖装卸异常判定中的异常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。图8B是简略地表示盖装卸异常判定中的异常状态的盒和盖装卸机构的截面图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。图9A是表示第一实施方式所涉及的基板收纳处理方法的流程图。图9B是表示第一实施方式所涉及的基板收纳处理方法的流程图。图10是第一实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。图11A是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。图11B是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置在退避位置与装设位置之间的状态。图11C是表示在正常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。图12A是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于退避位置的状态。图12B是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置在退避位置与装设位置之间的状态。图12C是表示在异常的状态下进行盖装卸异常判定时的盖装卸机构、关闭传感器和异常检测传感器的配置关系的概要图，表示盖装卸机构配置于装设位置的状态。图13是第二实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。图14是第三实施方式所涉及的盖装卸异常判定处理的流程图。图15是简略地表示第四实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图。图16是简略地表示第五实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图。图17A是简略地表示第六实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图，表示正常状态。图17B是简略地表示第六实施方式所涉及的盒和盖装卸机构的截面图，表示异常状态。具体实施方式下面参照附图来说明本专利技术的实施方式。本专利技术能够应用于能够相对于用于收纳基板的盒的开口部可装卸地装设盖的所有系统。在以下的实施方式中例示性地说明对进行以下处理的处理系统应用本专利技术的情况，该处理系统进行收纳处理前的多个基板的盒的搬入、对从盒取出来的基板的处理、处理后的基板相对于盒的重新收纳、以及收纳处理后的多个基板的盒的搬出。图1是表示本专利技术的一个实施方式所涉及的处理系统的一例的概要俯视图。图2是表示图1的处理系统所具备的基板收纳处理装置100的主要部分的概要结构图。图1所示的处理系统具备用于配置收纳多张(例如25张)半导体晶圆W(以下称作晶圆W)的盒10的盒交接站1、以及对从盒交接站1取出来的晶圆W实施处理的处理单元2。图1所示的处理单元2包括实施抗蚀剂涂布和显影处理等处理的第一处理部2a、在晶圆W的表面形成有透过光的液层的状态下使晶圆W的表面浸液曝光的第二处理部2b、以及在第一处理部2a与第二处理部2b之间进行晶圆W的交接的接口部2c。但是，不对处理单元2的具体的结构进行限定，处理单元2能够对晶圆W实施任意的处理。盒交接站1具有载置部11、分隔壁13和基板搬送机构20。在载置部11中设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳处理装置，具备：载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；盖装卸机构，其进行所述盖相对于被配置在所述载置部的所述盒的所述开口部的装卸，并且所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的装设位置和不与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的退避位置之间移动；盖保持传感器部，其用于探测是否由所述盖装卸机构保持着所述盖；以及控制部，其基于所述盖保持传感器部的探测结果来判定有无与所述盖的装卸有关的异常。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.22 JP 2017-0314761.一种基板收纳处理装置，具备：载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；盖装卸机构，其进行所述盖相对于被配置在所述载置部的所述盒的所述开口部的装卸，并且所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的装设位置和不与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的退避位置之间移动；盖保持传感器部，其用于探测是否由所述盖装卸机构保持着所述盖；以及控制部，其基于所述盖保持传感器部的探测结果来判定有无与所述盖的装卸有关的异常。2.根据权利要求1所述的基板收纳处理装置，其特征在于，所述盖装卸机构具有保持部，所述保持部通过吸引来保持所述盖，所述盖保持传感器部具有吸引压传感器，所述吸引压传感器测量在所述保持部保持所述盖时作用于该盖的吸引压，所述控制部基于所述吸引压传感器的测量结果来判定所述异常的有无。3.根据权利要求2所述的基板收纳处理装置，其特征在于，所述吸引压传感器在所述盖装卸机构被配置在所述装设位置以外的位置的状态下测量所述吸引压，所述控制部基于根据所述吸引压传感器的测量结果导出的所述盖装卸机构是否保持着所述盖的估计来判定所述异常的有无。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板收纳处理装置，其特征在于，所述盖保持传感器部具有：异常检测传感器，其探测在所述装设位置与所述退避位置之间的特定的位置处有无物体；以及关闭传感器，其探测所述盖装卸机构的有无，并且所述关闭传感器探测被配置在所述装设位置的所述盖装卸机构，但不探测被配置在所述退避位置的所述盖装卸机构，所述控制部基于所述异常检测传感器和所述关闭传感器的探测结果来判定所述异常的有无。5.根据权利要求4所述的基板收纳处理装置，其特征在于，所述控制部在所述盖装卸机构从所述退避位置朝向所述装设位置移动时，基于所述异常检测传感器在所述特定的位置探测到物体的定时与所述关闭传感器探测到所述盖装卸机构的定时的时间差来判定所述异常的有无。6.根据权利要求4所述的基板收纳处理装置，其特征在于，所述控制部在所述盖装卸机构从所述装设位置朝向所述退避位置移动时，基于所述关闭传感器探测不到所述盖装卸机构的定时与所述异常检测传感器在所述特定的位置探测不到物体的定时的时间差来判定所述异常的有无。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的基板收纳处理装置，其特征在于，所述盖保持传感器部具有重量传感器，所述重量传感器测量被配置在所述载置部的所述盒的重量，所述控制部基于所述重量传感器的测量结果来判定所述异常的有无。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的基板收纳处理装置，其特征在于，还具备气体供给部，所述气体供给部向被配置在所述载置部的所述盒内...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本昭博，松下道明，村田晃，田代稔，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP