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本实用新型公开了一种硅晶圆外观检测设备，包括检测机体，所述检测机体的一侧侧壁上设有中空槽，所述中空槽的底部内壁上固定连接有检测台，所述中空槽的底部内壁上放置有硅晶圆，所述中空槽的上端内壁上固定连接有与检测台位置相对应的检测装置，所述中空槽的...
该专利属于江苏斯米克电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏斯米克电子科技有限公司授权不得商用。

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