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晶片的生成方法和晶片的生成装置制造方法及图纸
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文档序号:22188801
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提供晶片的生成方法和晶片的生成装置,容易地以剥离层为起点将晶片从六方晶单晶锭剥离,容易地判别晶片从六方晶单晶锭的剥离已完成。晶片的生成方法包含如下工序:剥离层形成工序,将对于六方晶单晶锭(50)具有透过性的波长的激光光线(LB)的聚光点(F...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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