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本发明公开了一种集成的低电容ESD保护器件及其制备方法，该器件包括四个通道的低电容单向集成ESD保护器件，每个通道均由串联的低电容二极管D1和低电容二极管D2组成，该四个通道均与低电压二极管D3并联。该集成的低电容ESD保护器件的制备方法，...
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