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具有在FDSOI衬底中形成的垂直选择栅极的存储器单元制造技术
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下载具有在FDSOI衬底中形成的垂直选择栅极的存储器单元的技术资料
文档序号:22170777
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本发明涉及一种形成于半导体衬底(SUB)中的存储器单元,包括在该衬底中所形成的沟槽(TR)中垂直延伸并且通过第一栅极氧化物层(D3)与该衬底隔离的选择栅极(SGC);在该衬底上方延伸并且通过第二栅极氧化物层(D1)与衬底隔离的水平浮置栅极(...
该专利属于意法半导体(鲁塞)公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体(鲁塞)公司授权不得商用。
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