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本发明公开了一种耐等离子蚀刻的笼型倍半硅氧烷聚酰胺酸聚合物及其制备方法，聚合物分子主链段上同时具有笼型倍半硅氧烷和芳香族聚酰胺酸的典型结构，在单体总摩尔量中所述聚合物结构内的笼型倍半硅氧烷占比为5‑15％；且聚酰胺酸聚合物可通过阶梯升温实现...
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