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本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用电极组件，包括石墨底座、基电极、水平导电座、锥形电极、环形电极、绝缘套管和绝缘底座，石墨底座下部设置有圆锥形电极插孔，石墨底座上部设置有倒圆锥形插槽，插孔和插槽之间通过连接孔相通，基电极通...
该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。

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