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本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用石墨夹头，包括石墨底座、锥形部、圆柱部和环形支撑板，石墨底座下部设置有电极插孔，石墨底座上部设置有插槽，插孔和插孔之间通过连接孔相通，锥形部与插槽相适配，锥形部顶端固定连接有圆柱部，圆柱部...
该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。

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