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本实用新型涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉夹套纳米硅粉清除工具，包括拉杆、硅粉清除块和压盘，拉杆上端设置有拉环，下端连接有连接块，硅粉清除块呈圆柱状，其上表面和下表面分别设置有上压槽和下压槽，硅粉清除块内部设置有多个连接孔，连接孔位于上压...
该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。

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