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一种数字PCR芯片及其制备方法，该数字PCR芯片包括：基片(11)，该基片(11)一表面设有微孔结构(12)阵列，所有微孔结构(12)均不贯穿该基片(11)；金属膜层(13)，其形成于每个微孔结构(12)内表面的局部区域或全部区域，基片(1...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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