下载晶圆传送装置及封装机构的技术资料

文档序号:22024056

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本发明公开一种晶圆传送装置及封装机构,其中,一种晶圆传送装置,包括:取料台,所述取料台的台面设有晶圆放置位;旋转组件,所述旋转组件设于所述取料台上方,所述旋转组件包括旋转件和设于所述旋转件的第一吸头,所述第一吸头随所述旋转件转动并具有第一位...
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