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一种实现硅片之间精密粘合的粘片装置，包括配套使用的粘接台和压片台，所述粘接台包括预压板、加热板，该预压板下方设有四氟板，该加热板上设有陶瓷板，该陶瓷板上开设有并列设置的多个硅片放置槽，每个硅片放置槽的一侧开设有取片口；所述压片台包括上压板、...
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