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文档序号:21977125

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本发明的安装装置具备:附件(10),具有吸附半导体裸片(70)的表面(14);加热器(20),配置于附件(10)的与表面(14)相反侧,对吸附于表面(14)上的半导体裸片(70)进行加热;吸引孔,一体地贯穿附件(10)及加热器(20),并在...
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