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本发明提供一种气体分配装置和处理装置。在较小的空间中使气体分支，并且，缩小分支后的气体的流量之差。1个实施方式中的气体分配装置(20)具备多个供给管(21)、分支部(22)、配管(15)以及缓冲部(30)。各供给管(21)与多个处理腔室(1...
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