下载三维存储器件的贯穿阵列触点结构的技术资料

文档序号:21841414

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了3D存储器件的贯穿阵列触点结构以及其制作方法的实施例。3D NAND存储器件包括具有外围电路的衬底,以及设置在衬底上的交替层堆叠。交替层堆叠包括具有交替介电质堆叠的第一区域,具有交替导体/介电质堆叠的第二区域,以及具有在交替导体/介电...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。