下载三维存储器件的混和键合触点结构的技术资料

文档序号:21841403

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公开了3D存储器件的贯穿阵列触点结构及其制造方法的实施例。存储器件包括设置于第一衬底上的交替堆叠层。交替堆叠层包括第一区域与第二区域,所述第一区域包括介电质交替堆叠,所述第二区域包括导体/介电质交替堆叠。存储器件还包括:垂直延伸穿过交替堆叠...
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