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化学放大型正型光致抗蚀组合物以及使用了其的图案形成方法技术
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文档序号:21841129
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本发明提供一种可形成具有优异的截面形状的图案的正型化学放大型光致抗蚀组合物与使用了其的图案形成方法。一种正型化学放大型光致抗蚀组合物、以及使用了其的图案形成方法,该正型化学放大型光致抗蚀组合物包含:(A)与酸进行反应而使得相对于碱性水溶液的...
该专利属于默克专利有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利有限公司授权不得商用。
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