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使工件的对称轴与保持该工件并使其旋转的工件保持装置的旋转轴高精度地一致。包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工...
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