工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法制造方法及图纸

使工件的对称轴与保持该工件并使其旋转的工件保持装置的旋转轴高精度地一致。包括：保持台，其具有：保持工件的卡盘机构、支承卡盘机构并使卡盘机构在与旋转轴正交的方向移动而对工件进行定位的定位机构、和通过使定位机构绕旋转轴旋转而使保持于卡盘机构的工件绕旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于卡盘机构的工件的外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由对准用拍摄部对在旋转机构的作用下旋转的工件进行拍摄所取得的图像，检测对称轴相对于旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过定位机构使卡盘机构移动而以使对称轴与旋转轴一致的方式进行工件的位置校正，以消除偏心。

Workpiece Holding Device, Inspection Device and Workpiece Position Correction Method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件保持装置、检查装置及工件位置校正方法
本专利技术涉及保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使其绕旋转轴旋转的工件保持装置、对保持于该工件保持装置的工件进行检查的检查装置、以及该工件保持装置中的工件位置校正方法。关联申请的相互参考通过参考将以下所示的日本申请的说明书、附图及权利要求书的公开内容的全部内容引入本文件：日本特愿2017-47285(2017年3月13日申请)。
技术介绍
作为对绕对称轴旋转对称的工件的外观进行检查的装置，已知有例如专利文献1所记载的工件检查装置。在该工件检查装置中，利用与电动机连结的保持部保持工件。并且，在利用上述电动机使工件旋转的同时使用多台相机对该工件进行拍摄，并基于这些拍摄图像对工件的外观进行检查。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-63268号公报
技术实现思路
专利文献1所记载的装置是以齿轮作为工件的装置，检查齿轮是否存在伤痕和/或缺陷等。该装置中，保持部具有：从沿轴向贯通工件的贯通孔通过的轴部；和以与轴部同轴的方式夹持工件的夹持机构。并且，通过电动机的旋转轴旋转而使轴部和工件一体地旋转。此处，在工件的对称轴与电动机的旋转轴不一致、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：保持台，其具有：保持所述工件的卡盘机构、支承所述卡盘机构并使所述卡盘机构在与所述旋转轴正交的方向移动而对所述工件进行定位的定位机构、和通过使所述定位机构绕所述旋转轴旋转而使保持于所述卡盘机构的所述工件绕所述旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于所述卡盘机构的所述工件的所述外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由所述对准用拍摄部对在所述旋转机构的作用下旋转的所述工件进行拍摄所取得的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过所述定位机构使所述卡盘机构移动而以使所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.13 JP 2017-0472851.一种工件保持装置，其保持具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件并使所述工件绕旋转轴旋转，其特征在于，包括：保持台，其具有：保持所述工件的卡盘机构、支承所述卡盘机构并使所述卡盘机构在与所述旋转轴正交的方向移动而对所述工件进行定位的定位机构、和通过使所述定位机构绕所述旋转轴旋转而使保持于所述卡盘机构的所述工件绕所述旋转轴旋转的旋转机构；对准用拍摄部，其对保持于所述卡盘机构的所述工件的所述外周部进行拍摄；偏心检测部，其基于由所述对准用拍摄部对在所述旋转机构的作用下旋转的所述工件进行拍摄所取得的图像，检测所述对称轴相对于所述旋转轴的偏心；和工件位置校正部，其通过所述定位机构使所述卡盘机构移动而以使所述对称轴与所述旋转轴一致的方式进行所述工件的位置校正，以消除所述偏心。2.如权利要求1所述的工件保持装置，其特征在于，所述卡盘机构具有多个可动部件和使所述多个可动部件相对于中心轴接近或远离的移动部，通过所述移动部使所述多个可动部件分别同时向所述中心轴移动而保持所述工件。3.如权利要求2所述的工件保持装置，其特征在于，所述偏心检测部使得由所述多个可动部件保持的所述工件在所述旋转机构的作用下以定位成所述中心轴相对于所述旋转轴一致...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村友详，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP