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结晶性层叠结构体,半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:21836663
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本发明的目的在于提供一种导电性出色的结晶性层叠结构体,该结晶性层叠结构体中,具有刚玉结构的结晶性氧化物薄膜即使在退火(加热)步骤后也没有高电阻化。本发明提供一由该结晶性层叠结构体组成的半导体。其中该结晶性层叠结构体具备底层基板,和直接或介由...
该专利属于株式会社FLOSFIA所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社FLOSFIA授权不得商用。
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