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本发明提供一种功率器件及其制作方法，包括：提供第一导电类型的衬底；在所述衬底上表面生长第一导电类型的第一外延层；形成从所述第一外延层上表面延伸至所述第一外延层中的第一沟槽；在所述第一沟槽的侧壁形成第一介质层；在所述第一沟槽底部形成第二介质层...
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