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披露了一种量测传感器系统，诸如一种位置传感器。所述系统包括：光学收集系统，所述光学收集系统配置成收集来自衬底上的量测标记的衍射或散射辐射，所收集的辐射包括至少一个参数敏感信号和非参数敏感的噪声信号；处理系统，所述处理系统能够操作以处理所收集...
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