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管道清洁装置制造方法及图纸
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文档序号:21743601
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本实用新型提供了一种管道清洁装置,包括反应腔体、第一管道、第二管道以及尾气处理装置;其中,第一管道连接反应腔体与尾气处理装置,第一管道上设置有第一阀门,用于控制第一管道导通或闭塞;第二管道与第一管道交汇,且第二管道与第一管道的交汇点位于所述...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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