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公开了用于测量通过光刻过程在衬底上形成的结构的量测设备和方法。在一种布置中，光学系统利用辐射照射所述结构并检测被所述结构散射的辐射。光学系统包括第一发散元件(121)。第一发散元件使仅仅来自光瞳平面场分布的第一部分(41)的散射辐射沿着第一...
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