温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种方法包括：获得用于图案化过程的抗蚀剂过程剂量敏感度值；将抗蚀剂过程剂量敏感度值应用于随机模型，所述随机模型提供作为抗蚀剂过程剂量敏感度的函数的随机变量的值，以获得所述随机变量的值；以及基于随机变量的值来设计或修改图案化过程的参数。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。