下载基板液体处理装置和基板液体处理方法的技术资料

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提供基板液体处理装置和基板液体处理方法。在将规定浓度的药剂的第一水溶液用作处理液来对基板进行液体处理的基板液体处理装置中,能够使用处理液对基板良好地进行处理。在本发明中,将处理液贮存于处理液贮存部,向上述处理液贮存部供给浓度与上述处理液的浓...
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