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本公开内容提供了一种用于在沉积系统中无接触运输载具(220)的设备。载具(220)包括：引导结构(210)，所述引导结构具有一个或更多个有源磁体单元(112)，所述有源磁体单元被配置为面对载具(220)的磁体结构(222)；和一个或更多个传...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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