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场效应晶体管制造技术
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文档序号:21542401
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本公开提供一种场效应晶体管,涉及半导体技术领域。该场效应晶体管,包括:衬底,位于衬底上阱区,阱区中包括沟道区、LDD区、和具有第一掺杂类型的源区与具有第二掺杂类型的漏区;位于沟道区上的栅氧化层和多晶硅栅极;位于多晶硅栅极两侧的侧壁间隔物;其...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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