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一种芯粒测试装置制造方法及图纸
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下载一种芯粒测试装置的技术资料
文档序号:21540628
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本实用新型涉一种芯粒测试装置,用于测量芯粒的光、电性能参数,其至少包括机架、放置芯粒的具有导电功能的导电板、积分球收光器和CCD扫描仪、第一寻边器和第二寻边器、显示器和光纤,所述第一寻边器中设置有用于直接接触电极的探针,所述第二寻边器中探针...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。
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