下载一种芯粒测试装置的技术资料

文档序号:21540628

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本实用新型涉一种芯粒测试装置,用于测量芯粒的光、电性能参数,其至少包括机架、放置芯粒的具有导电功能的导电板、积分球收光器和CCD扫描仪、第一寻边器和第二寻边器、显示器和光纤,所述第一寻边器中设置有用于直接接触电极的探针,所述第二寻边器中探针...
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