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本发明涉及基于源试剂的用于批量沉积的高物质通量流体的输送。本发明公开了一种系统、试剂支持盘、颗粒抑制装置和方法。一方面，系统包括具有包围内部空间的一个或多个内壁的汽化器容器和构造为在内部空间内垂直堆叠的多个试剂支持盘。将多个试剂支持盘中的每...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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