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本发明公开了一种用于干燥晶圆的紧固结构，包括一个位于中间的连接块，三个或者三个以上的连接臂的一端与所述连接块连接，另一端向外伸出，相邻连接臂之间的夹角相等，连接臂的末端设置紧固部件以支撑晶圆，所述紧固部件在离心力的作用下能够紧固晶圆。紧固部...
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