下载二极管器件及其制造工艺的技术资料

文档序号:21516302

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本发明提供了二极管器件,包括氧化层和掺杂多晶硅区,及顺序设置且电性导通的阴极金属、N型重掺杂区、N型轻掺杂区、P型掺杂区、势垒层和阳极金属;还提供了二极管器件的制造工艺:在N型轻掺杂区上外延生长出P型掺杂区;自P型掺杂区向内蚀刻至N型轻掺杂...
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