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具有在金属互连下形成绝缘层的结构的半导体装置制造方法及图纸
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下载具有在金属互连下形成绝缘层的结构的半导体装置的技术资料
文档序号:21516233
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公开了一种具有在金属互连下形成绝缘层的结构的半导体装置。所述半导体装置包括形成在衬底上的通孔插塞和形成在通孔插塞的一端处的用于互连的金属层,其中绝缘结构位于用于互连的金属层下方,并且绝缘结构根据与用于互连的金属层的位置关系具有不同的分层结构...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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