下载半导体互连结构的技术资料

文档序号:21496814

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本公开提供一种半导体互连结构。半导体互连结构包括:堆叠结构,所述堆叠结构包括多层键合的晶圆或芯片,每层所述晶圆或芯片包括衬底和布线层,所述布线层包括多条金属导线;硅通孔,穿透所述堆叠结构,在每层所述晶圆或芯片上的穿透位置的中心位于所述金属导...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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