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湿法处理设备制造技术
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下载湿法处理设备的技术资料
文档序号:21496775
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本实用新型提供了一种湿法处理设备,通过在向喷嘴供液的供液管道上增设一回吸管道,并在所述回吸管道上设置一回吸阀,使得在停止喷嘴喷液时,可以进一步打开回吸阀,以产生负压,使喷嘴及其附近的供液管道中残留的液体回吸,有效防止这些残留的化学液从喷嘴处...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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