温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种半导体制造设备，半导体制造设备包括第一腔体；第一传送窗口，形成于所述第一腔体的第一侧壁；第二腔体，所述第二腔体的第二侧壁连接于所述第一腔体的所述第一侧壁；第二传送窗口，形成于所述第二腔体的第二侧壁，所述第二传送窗口与所述第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。