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本发明所披露的系统和方法的实施例利用无刷ＤＣ马达（ＢＬＤＣＭ）驱动泵系统中的单级或多级泵，用于实时、平滑运动以及极其精确和可重复地对流体运动和分配量进行位置控制，其在半导体制造中非常有用。该ＢＬＤＣＭ可以利用位置传感器，来对执行定制场定向控...
该专利属于恩特格里公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里公司授权不得商用。

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