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本申请涉及一种研磨液分配臂及化学机械平坦化装置。用于分配研磨液的分配臂包括机械臂，所述机械臂能够移动至任何所需位置；配置为用于输送研磨液的喷嘴，固定地或角度可调地设置在机械臂的下方；配置为用于缓冲所述喷嘴排出的研磨液的挡板，固定地或角度可调...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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