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基板处理系统技术方案
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文档序号:21465912
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一种基板处理系统,包括处理装置、回收槽、排液管路以及冷却液供应单元。处理装置使用处理液对基板进行处理。回收槽用以容置处理液。排液管路连通于回收槽。冷却液供应单元连通于排液管路,并用以供应冷却液至排液管路,以使冷却液与处理液混合成混合液,其中...
该专利属于辛耘企业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过辛耘企业股份有限公司授权不得商用。
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