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陶瓷环及具有陶瓷环的半导体反应腔体制造技术
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文档序号:21449004
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本发明揭露一种陶瓷环,具有一上表面、一下表面及在该上表面和该下表面之间延伸的一本体。该陶瓷环的下表面形成有多个定位槽,该等定位槽的每一个自该下表面向该本体延伸,且该等定位槽的每一个沿着该陶瓷环的一径向方向延伸。...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。
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