下载陶瓷环及具有陶瓷环的半导体反应腔体的技术资料

文档序号:21449004

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本发明揭露一种陶瓷环,具有一上表面、一下表面及在该上表面和该下表面之间延伸的一本体。该陶瓷环的下表面形成有多个定位槽,该等定位槽的每一个自该下表面向该本体延伸,且该等定位槽的每一个沿着该陶瓷环的一径向方向延伸。...
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