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本发明公开了光学多弧离子镀膜机，包括真空室和与真空室连通的抽气组件、充气组件、运输组件、加热组件、冷却组件，所述真空室内设有至少一多弧靶，所述多弧靶包括阴极和引弧电极，所述阴极的一端与引弧电极的一端绝缘连接，所述阴极为一内部设有磁棒和靶背管...
该专利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭宏大真空技术股份有限公司授权不得商用。

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